气密性检测仪的极限值是多少

    气密性检测仪的灵敏度受限于待测气体，在检漏仪的测试接头关闭时，各种气体会逆着抽气方向，穿过排气阀和泵（尽管会因压缩而减少）进入质谱仪。如果电子器件的精度足够高，这些气体就能被检测出来，产生的信号就代表了检测限。高真空系统通常包括一个涡轮分子泵和一个油封旋片泵，与所有液体一样，旋片泵中的密封油也能溶解气体，直到溶解在密封油中的气体与密封油以外的气体达到平衡。当泵温度升高时（处于工作温度时），此平衡状态就代表了检漏仪的检测限，密封油中溶解的氦气会影响检漏仪的检测限。

注意事项

    测试气体不仅可以通过测试接头进入检漏仪；安装不当以及测试气体处理不当都可能导致测试气体通过排气阀以及供气阀或气镇阀进入检漏仪的内部，导致密封油以及弹性体密封件中的氦气水平升高，继而在质谱仪中产生远高于正常检测限的背景信号。正确安装设备后，应将气镇阀和供气阀连接到新鲜空气，排气管路（滤油器）至少应引至执行泄漏检测的房间外面。

零漂抑制功能

    检漏仪的自动操作方案中集成了一种被称为零漂抑制的功能，使用该功能时，会保存进气阀关闭后测量的本底水平值；当进气阀再次打开时，会从后续测量结果中自动减去该值。仅在阈值水平相对较高时，显示面板才会显示警告消息，指示本底噪音水平过高。

    除了上述零漂抑制功能外，所有检漏仪还都提供了手动零漂调整功能。采用手动功能时，检漏仪的显示屏会在特定时刻显示“重置为零”，以便仅显示从该点开始的泄漏率增加值。此操作只是有助于评估显示，当然显示并不会影响漏气检测的准确性。

    现代检漏仪大多配有无油真空系统，即所谓的“干式检漏仪”。这种仪器避免了油液中溶解气体导致的问题，但是仍需采用类似的净化方法。

    检漏仪的极限值或规格包括最小可检漏率、测试连接处的有效抽速以及被测件内的最大许可压力（也称为最大许可进气压力）。对于带有传统分子泵的检漏仪，压力pmax约为10-1mbar；对于带有复合分子泵的检漏仪，该压力约为2至10mbar。最大许可工作压力与检漏仪测试连接处抽气系统的抽速S的乘积就是最大许可气载量。

    通过降低抽速来获得高灵敏度并非明智之举，会使得最大气载太小，当存在一处较大的漏气点或多处较小的漏气点时，进入装置的气体流量会超过检漏仪的最大许可气载，从而导致装置无法正常工作。