高气体排放物体的泄漏测试策略

在评估物体密封性时，测试方法的选择至关重要。通常，测试过程分为两个阶段，整体密封性评估：首先，对被测物体的整体密封性进行评估。泄漏点定位与修复：如有必要，随后进行泄漏点定位，明确泄漏区域的位置。修复已识别的泄漏后，重复初始测试阶段，以确认外壳的密封程度。

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为了获得最佳结果，建议在测试过程中，整个气体流都通过检漏仪。因此，建议测试气体的分离流量不超过检漏仪允许的工作流量，关闭辅助泵送设施，确保所有气体都通过检漏仪。

氦室和盖法：利用氦气室和盖子进行测试。

真空室（压力室）法：在真空环境下进行测试。

真空吸盘法：使用真空吸盘进行局部测试。

测试气体在腔室中积聚法：在封闭腔室内积聚测试气体。

探针法：使用探针进行泄漏检测。

如果总气体流量不超过气流发生器的最大允许流量，在获得前真空（0.1...1Pa）后，应立即关闭辅助泵。如果总气体流量超过允许的流量，则使用持续运行的机械泵进行测试。

当需要确保最大限度地将气体吸入检漏仪并缩短信号建立时间时，此方案适用于测试高气体排放或高泄漏体积的物体。使用高真空泵（例如蒸汽油泵）进行辅助泵送，可以在质谱室中获得较低的总压力，不超过检漏仪的最大工作压力。这使得在检漏仪入口阀完全打开的情况下进行测试成为可能。

探针测试方法用于检测充满气体的物体中的泄漏。探针是一种抽吸装置，其导电性确保了2•10⁻³...5•10⁻³m³•Pa/s的流量通过。探针沿着充满氦气的测试物体表面移动，以检测泄漏。

对于控制片坯、开口以及充满气体的物体及其零件的热性，使用了真空吸盘的方法。真空吸盘安装在要测试的表面上，从其另一侧供应氦气。

在测试高通量检验周期中检验的小尺寸产品的过程中，使用了质谱控制技术。最近，涡轮分子泵越来越多地用于质谱控制的实施。这些泵具有以下优点：测试准备时间短（3...5分钟），无需使用液氮，残余气体光谱中没有碳氢化合物蒸气，质谱室受到保护，不会渗透空气，对轻气体的压缩比远低于重气体。