质谱法是一种通过电和磁场,根据离子化后的质荷比来分离和检测泄漏测试物质与伴随气体混合物的方法。该方法有两种实现模式,直接流动模式:在注册测试气体(例如氦气)时,测试气体直接进入泄漏检测仪的分析器。逆流模式:测试气体通过高真空泵的出口进入泄漏检测仪的分析器,其扩散方向与被吸入气体的流动方向相反。
卤素法
卤素法基于检测泄漏的含卤素测试物质。当含卤素的测试物质与加热的金属(铂)表面接触时,会增加正离子的发射。
电子俘获法
电子俘获法通过记录泄漏检测器中放电间隙的电导率变化来检测泄漏。当带负电的测试气体通过泄漏进入检测器时,会引起电导率的变化,随后被检测到。
等离子体法
等离子体法通过测量由带负电的测试气体通过泄漏进入而引起的高频振荡器振荡频率的变化来检测泄漏。
气泡法
气泡法通过观察测试气体通过被测物体的泄漏点进入液体或发泡指示层时形成的气泡来检测泄漏。这种方法简单直观,广泛应用于各种工业领域。
仪器法
仪器法通过记录测试物质通过被测物体泄漏处时引起的超压变化来检测泄漏。通过监测压力变化,可以有效评估泄漏状况。
真空计法
真空计法通过记录测试物质通过泄漏进入物体时引起的残余压力的变化来检测泄漏。这种方法适用于真空环境中的泄漏检测。