高灵敏度压力上升法气密性检测

压力上升法适用于配备独立抽气和真空测量装置的系统。其核心原理是通过监测系统压力的变化来计算泄漏，提供直观且精确的泄漏数据。在某些情况下，可以根据抽气速度评估系统密封性，实现10⁻³mm³·MPa/s的灵敏度。这种高灵敏度使压力上升法成为检测真空系统泄漏的可靠工具。

1.断开抽气设备：将测试真空系统与抽气设备分离。

2.构建压力变化图表：记录系统内随时间变化的压力。

高灵敏度压力上升法气密性检测.png

3.计算泄漏率：使用系统的体积和一段时间内的压力变化（Δp/Δt），可以轻松计算出泄漏量。

在测试过程中，区分泄漏与气体释放至关重要。以下是一些辅助指标：

液氮测试：向冷却的泵排水阀中倒入液氮对泄漏真空系统的压力影响不大，但会降低排气系统的压力。

长期抽气观察：在长期抽气过程中，由于物体壁面的放气，压力可能会缓慢下降。如果存在泄漏，则不会出现这种现象。

快速压力上升：在经过长期抽气的隔离系统中，如果压力上升到接近大气压水平，并且在启动机械泵时听到特征性的尖叫声，通常表明存在泄漏。

在压力上升测试中，可以使用各种液体或气体作为测试物质：

液体测试物质（例如醚、丙酮、酒精）：这些物质非常有效，因为即使少量通过泄漏进入真空系统也会蒸发，显著增加系统压力。

液体测试物质的缺点：对于小泄漏，液体可能需要很长时间（长达数小时）才能通过毛细管上升。这可能导致真空计在检查产品表面的另一部分时反应反应，从而导致错误的泄漏位置识别。为了确保准确检测，必须在系统建立压力后移除测试物质并重复测试。

气体测试物质：由于其高渗透性，设备对测试气体的反应几乎是即时的，可实现0.1...0.01mm³·MPa/s的灵敏度。尽管对气态样品的有效性较低，但由于其快速响应，该方法仍然非常有效。